ZEM15台式扫描电镜的电子光学系统、探测器、电路控制系统、信号采集系统和操作软件均为泽攸科技自主研制。特别研制的电子光学系统设计，使拍摄图片具有更高的信噪比和对比度。配合*的信号采集带宽，可以在视频帧率下高质量的流畅显示样品。只需鼠标就可完成所有操作，无需光阑对中等复杂步骤。主机集成高压及控制系统，是目前市面上体积较小的台式扫描电镜，便于移动，安装无需特殊环境。
ZEM15台式扫描电镜的四大功能：
1、利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构(原子在晶体中的排列方式)，晶体取向分布分析，基于晶体结构的相鉴定。
2、在半导体器件(IC)研究中的特殊应用：
1)利用电子束感生电流EBIC进行成像，可以用来进行集成电路中pn结的定位和损伤研究
2)利用样品电流成像，结果可显示电路中金属层的开、短路，因此电阻衬度像经常用来检查金属布线层、多晶连线层、金属到硅的测试图形和薄膜电阻的导电形式。
3)利用二次电子电位反差像，反映了样品表面的电位，从它上面可以看出样品表面各处电位的高低及分布情况，特别是对于器件的隐开路或隐短路部位的确定尤为方便。
3、显示化学成分的空间变化，基于化学成分的相鉴定——-化学成分像分布，微区化学成分分析
1）用x射线能谱仪或波谱采集特征X射线信号，生成与样品形貌相对应的，元素面分布图或者进行定点化学成分定性定量分析，相鉴定。
2）利用背散射电子基于平均原子序数（一般和相对密度相关）反差，生成化学成分相的分布图像；
3）利用阴极荧光，基于某些痕量元素受电子束激发的光强反差，生成的痕量元素分布图像。
4）利用样品电流，基于平均原子序数反差，生成的化学成分相的分布图像，该图像与背散射电子图像亮暗相反。
5）利用俄歇电子，对样品物质表层进行化学元素分布的定性定理分析。
4、扫描电子显微镜追求固体物质高分辨的形貌，形态图像-形貌分析（表面几何形态，形状，尺寸）。
更新时间：2022-06-06 
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