SEM扫描电镜的工作原理为: 在高真空的镜筒中,由电子枪产生的电子束经电子会聚透镜聚焦成细束后,在样品表面逐点进行扫描轰击,产生一系列电子信息(二次电子、背反射电子、透射电子、吸收电子等),由探测器将各种电子信号接收后经电子放大器放大后输入显像管。
SEM扫描电镜在观测样品时要满足什么样的条件?
①形貌结构形态,要耐高真空
SEM扫描电镜是一种用电子束扫描物体表面的成像技术。空气的存在会使电子束变形,影响扫描效果,所以样品需要能够承受高真空。
②样品表面导电
样品表面要导电,如果导电性比较差,可以镀金处理以提高导电性。在大多数情况下,主电子束电荷大于背散射电子和二次电子的数量,因此要将多余的电子导走,使样品表面没有电荷积累。
③特殊样品制备的注意事项
一般来说,不建议在该扫描电镜下观察磁性材料。如果要观察这种材料,建议先消磁。