为提高扫描电镜图像的分辨力，常采用的途径和方式有下列几种。 （1）在物镜的极靴附近加设一个特殊的附加静电装置（ElectrostaticsServes），用来同时汇集一次电子并提取二次电子，再加上物镜顶部环形探测器接收的面积大，灵敏度高，在短工作距离下能明显改善图像的信噪比和提高分辨力。
（2）采用透镜内（In-lens）探测器或安装在物镜上方的探测器（TLD-SED），都能明显改善低加速电压和短工作距离时的图像信噪比和分辨力。在WD较小时，不仅可以减小物镜球差和消除传统E-T探测器前端栅网上加速电位带来的影响，而且它接收到的几乎都是在入射束照射下直接产生的二次电子，排除了背散射电子等其他信号所产生的次生或间接的二次电子，因而有助于提高图像分辨力。
（3）利用高亮度的场发射电子枪来作电子源的阴极以提高束流密度，从而提高亮度。
（4）缩短工作距离，既可以相对增大信号量、提高信噪比，又可以减小像差，也就是把试样尽量移近物镜极靴，这类似于光学显微镜中的短焦距“浸没透镜”方式。物镜的极靴区是获得高分辨图像的有效部位但由于该处的空间很小，一般只有毫米级的试样才能进得去，而且试样的移动范围很小，操作起来要格外小心，否则容易“四处碰壁”。这种模式由于焦距短，束斑受外界的影响小，像差也小，且能进入到该区域的试样座也要小，小样品台的稳定性相对会比较好，所以在该区域拍摄的照片，其图像分辨力能得到明显提高。
（5）使用强磁透镜，这是在透射电镜中装上附加的扫描附件，使试样发出的二次电子在强磁场中被检测、收集成像，即利用透射电镜的扫描附件做出扫描电镜才能完成的二次电子像，而且这种二次电子像的分辨力往往优于同类电子枪的专业扫描电镜。
更新时间：2022-07-26 
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