台式扫描电镜能谱一体机是集成化成像分析系统。使用它既可以观察样品的形貌,同时又能进行元素的定性和定量分析。除了元素的点分析,元素的线面扫功能可以进一步分析元素的分布情况。
不同价位的台式扫描电镜能谱一体机略有不同,主要是以下三个方面的质量差异。
1、电子显微镜由镜筒、真空装置和电源柜三部分组成。
2、镜筒主要有电子源、电子透镜、样品架、荧光屏、检测器等部件。这些部件通常从上到下组装成一个圆柱体。
3、电子透镜用于聚焦电子,是电子显微镜镜筒中很重要的部分。一般使用磁透镜,有时也使用静电透镜。
它利用与镜筒轴对称的空间电场或磁场,使电子轨迹向轴弯曲,形成焦点。其作用与光学显微镜中的光学透镜(凸透镜)一样,使光束聚焦,故称为电子透镜。光学镜头的焦点是固定的,而电子镜头的焦点是可以调节的,因此电子显微镜没有光学显微镜那样的可移动镜头系统。
大多数现代电子显微镜都使用电磁透镜,电子被非常稳定的直流激励电流通过带极靴的线圈产生的强磁场聚焦。电子源由释放自由电子的阴极、栅极和以环形加速电子的阳极组成。阴极和阳极之间的电压差需要很高,一般在几千伏到三百万伏之间。它能以均匀的速度发射并形成电子束,因此加速电压的稳定性不低于万分之一。
样品可以稳定地放置在样品架上,常有可以改变样品的装置(如移动、旋转、加热、冷却、拉长等)。
电子显微镜按其结构和用途可分为透射电子显微镜、扫描电子显微镜、反射电子显微镜和发射电子显微镜。