结构组成：

1.真空系统

成像系统和电子束系统均内置于真空柱中。真空柱的底部是密封室，也就是放置样品的地方。

之所以采用真空，主要基于以下两个原因：

电子束系统中的灯丝在普通大气中会很快氧化失效，所以使用SEM时除了真空外，通常还需要用纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。

为了增加电子的平均自由程，使更多的电子用于成像。

2. 电子束系统

电子束系统由电子枪和电磁透镜组成。主要用于产生能量分布很窄且具有一定电子能量的电子束，用于扫描成像。

3.电子枪

电子枪是用来产生电子的，主要有两种，一共三种。

4.电磁透镜

热发射电子需要电磁透镜才能形成光束，因此电磁透镜对于使用热发射电子枪的SEM来说是不可少的。通常组装两个组：

会聚透镜：顾名思义，会聚透镜使用会聚电子束，组装在真空柱中，位于电子枪下方。通常不止一个，并且有一组会聚光圈与之匹配。 但是，会聚透镜仅用于会聚电子束，与成像焦点无关。

物镜：物镜是真空柱底部的电磁透镜，负责将电子束的焦点会聚到样品表面。