一、台阶仪的定义与用途

台阶仪，英文名为 Profilometer，是专门用于测量物体表面轮廓和表面光洁度（表面粗糙度）的仪器。在微观层面观察，物体表面实则是由一系列高度、深度以及间距各不相同的峰谷所构成。这些看似细微的特征差异，却在很大程度上决定了表面的诸多特性，例如手感上是光滑还是粗糙，外观呈现哑光还是光泽，是否具备密封性能，或者是否适用于耐磨表面等。在机械零件生产制造等行业里，技术图纸上通常会明确规定表面粗糙度或表面光洁度的具体要求。此时，台阶仪就成为了验证这些要求是否得以满足的重要工具。它能够以非常高的精度测量出表面微观结构的各项参数，从而确保产品的质量和性能符合设计预期。

二、台阶仪的工作原理

（一）接触式台阶仪

接触式台阶仪的测量原理是通过一个触针轻轻地在被测表面上划过，以此来获取表面轮廓信息。触针的尖端形状为圆锥形，底部带有球形半径。当触针沿着表面划过那些高低起伏的峰谷时，其在垂直方向上的高度变化会被转化为电信号进行记录，并且这些高度变化会与触针在水平方向上的移动位置一一对应起来，最终生成精确的测量轮廓。触针尖端的圆锥角度以及球形半径的大小，直接决定了该触针能够探测到的最小表面特征尺度。为了保证触针在测量过程中的耐磨性和使用寿命，其尖端通常采用硬度极高且耐磨的材料制成，如金刚石或蓝宝石等。在实际操作中，例如在机械加工车间里常见的手持式接触式台阶仪，使用时将其放置在需要测量的工件表面上，触针会以大约每秒 1 毫米的速度自动在表面上划过。这种类型的台阶仪，其触针尖端半径最小可以达到几微米的量级，能够精确测量出 Ra 值低至 0.005 µm 以及 Rz 值低至 0.02 µm 的表面粗糙度。而且，根据被测表面的光滑程度不同，手持式接触式台阶仪通常还配备有多种不同的测量范围可供选择，以适应多样化的测量需求。

接触式台阶仪示意图

接触式台阶仪尖端形状

（二）光学式台阶仪

光学式台阶仪包含了一维、二维以及三维等多种类型的测量设备。这类台阶仪利用光的反射原理来测量表面特征，其工作原理基于多种光学原理，如光学干涉、共焦孔径技术、焦点检测原理以及图案投影原理等。尽管光学式台阶仪的种类繁多且原理各异，但它们也存在一些共同特点。光学式台阶仪通常是相对大型的仪器设备，主要由光源、光学透镜以及图像传感器等部件组成。然而，其对测量表面也有一定要求，即需要被测表面能够有效地反射所使用的光，这就使得许多光学式台阶仪在测量半透明或高反射率表面时会遇到困难。此外，为了确保反射光能够准确地表征表面特征，被测表面必须保持清洁，不能有灰尘、水以及油污等杂质的存在。由于光的传播速度极快，光学式台阶仪在测量速度方面具有显著优势，相比接触式台阶仪能够更快地获取测量数据。某些先进的光学式台阶仪甚至可以在短短几秒内收集数百万个读数，这使得对大面积表面形貌进行建模成为可能，极大地提高了测量效率和数据获取能力。

三、台阶仪的选择要点

在选择适合自己应用需求的台阶仪时，需要综合考虑多个关键因素，以下是一些重要的选择要点：

测量参数需求：首先要明确自己需要测量哪些参数，例如常见的 Ra、Rz 等参数，并且要确定这些参数的大致范围。同时，还需要根据实际应用的精度要求，选择能够满足相应精度标准的台阶仪。不同的行业和应用场景对表面粗糙度等参数的精度要求差异较大，只有选择精度匹配的仪器才能确保测量结果的有效性。

被测表面特性考量：需要充分考虑被测表面的各种特性，包括表面的大小、形状以及材质等因素。如果被测表面较大且粗糙度要求范围较广，例如在一些大型机械制造企业中偶尔生产的大型零件，手持式接触式台阶仪且具有较大测量范围的型号可能更为合适；而对于小型、高精度要求且表面形状复杂的被测物体，如半导体芯片制造过程中的晶圆表面检测，光学式台阶仪可能能够提供更精确和全面的测量结果。此外，如果被测材料为软质材料，那么在选择接触式台阶仪时就需要更加谨慎考虑触针可能对材料表面造成的损伤问题。

测量效率因素：要根据实际测量的工作节奏和需求来考虑测量效率。如果在生产线上需要频繁地进行大量测量，每次测量的周期时间较短，那么光学式台阶仪凭借其快速测量的优势可能是更好的选择；反之，如果测量频率较低，例如在一些小型机械加工车间中只是偶尔进行表面粗糙度检测，接触式台阶仪的成本和性能特点可能更能满足这种低频测量的需求，同时也能在一定程度上节约成本。

综上所述，台阶仪作为表面测量领域的重要精密工具，无论是接触式还是光学式，都各自具有特别的优势和适用范围。在实际应用中，只有深入了解台阶仪的各项特性，并根据具体的测量需求、被测表面特征以及测量效率等多方面因素进行综合权衡，才能选择到适合自己应用场景的台阶仪，从而为工业生产和科学研究提供准确、可靠的表面测量数据，保障产品质量和研究成果的科学性。希望通过本文的介绍，能让您对台阶仪有更为全面和深入的认识，以便在相关工作和研究中能够做出更加明智的选择。

泽攸科技台阶仪可以对微纳结构进行膜厚和台阶高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量，在高校、研究实验室和研究所、半导体和化合物半导体、高亮度LED、太阳能、MEMS微机电、触摸屏、汽车、医疗设备等行业领域有着广泛应用。长期以来，这一领域被国外产品垄断。而泽攸科技自主研发的JS系列高精度台阶仪，凭借突破性的关键技术，打破了国外垄断，是半导体国产化进程中重要的一环。